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日前，科技部會同北京市和上海市政府組織召開了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”成果發(fā)布會，介紹了集成電路專項實施以來取得的豐碩成果。在國家科技重大專項的引領和支撐下，我國集成電路產業(yè)快速崛起，輻射帶動我國LED和光伏產業(yè)世界領先。
集成電路芯片是信息時代的核心基石，集成電路制造技術代表著當今世界微細制造的最高水平，集成電路產業(yè)已成為影響社會、經濟和國防的安全保障與綜合競爭力的戰(zhàn)略性產業(yè)。
“芯片強則產業(yè)強，芯片興則經濟興，沒有芯片就沒有安全�！� 專項技術總師、中科院微電子研究所所長葉甜春研究員說。
長期以來，我國集成電路產業(yè)一直受到西方在先進制造裝備、材料和工藝引進等方面的種種限制，高端芯片主要依賴進口。我國集成電路產品連續(xù)多年進口額超過2000億美元，超過石油成為最大宗進口產品。
為實現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國務院批準實施極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝國家科技重大專項，主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新。據(jù)科技部重大專項辦公室主任陳傳宏介紹，該專項由北京市和上海市政府牽頭組織實施。共有200多家企事業(yè)單位、2萬多名科學工作者參與技術攻關，集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個產業(yè)聚集區(qū)。
集成電路制造創(chuàng)新體系建設成績斐然“此次發(fā)布的專項成果包括9年來已研發(fā)成功并進入海內外市場的30多種高端裝備和上百種關鍵材料產品，面向全球開展服務的65－28納米產品工藝和高密度封裝集成技術成果。” 北京市經信委主任張伯旭表示，高端裝備和材料從無到有填補產業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭，表明國家科技重大專項打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標已經實現(xiàn)。在近幾年我國集成電路產業(yè)的蓬勃發(fā)展中，重大專項發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領和技術支撐作用。
“培育自主知識產權體系是科技重大專項組織實施的重中之重。”據(jù)葉甜春介紹，目前集成電路專項已申請了2.3萬余項國內發(fā)明專利和2000多項國際發(fā)明專利，所形成的知識產權體系使國內企業(yè)在國際競爭中的實力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從“引進消化吸收再創(chuàng)新”轉變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式。
“以培育產品、做強企業(yè)為宗旨的機制體制創(chuàng)新成為亮點�！睆埐窠榻B，集成電路專項以培育真正可用產品、做大做強企業(yè)為目標，進行了組織實施的機制體制創(chuàng)新。首先，下游考核上游、整機考核部件、應用考核技術、市場考核產品的考核制，保證了科研成果的實用性，成就了一大批經得起市場檢驗的高端產品。
其次，采取產業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式，專項與重點區(qū)域產業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動引導地方和社會的產業(yè)投資跟進支持，有效推動了專項成果產業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強，形成產業(yè)規(guī)模，提高整體產業(yè)實力。在專項支持下，一批龍頭企業(yè)進入世界前列，一批骨干企業(yè)開始積極參與國際競爭，專項支持的企業(yè)在資本市場備受青睞。
可喜的是，國內企業(yè)應用專項成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國LED和光伏等泛半導體產業(yè)綜合競爭力大幅躍升，產業(yè)規(guī)模和技術水平實現(xiàn)了國際領先。
“十三五”謀求再突破“通過極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝國家科技重大專項的實施，我們從無到有填補了產業(yè)鏈空白，由弱漸強走向世界參與國際競爭，構建起了較為完整的集成電路產業(yè)技術創(chuàng)新體系；探索出了以企業(yè)為主體、產學研用協(xié)同的大兵團作戰(zhàn)創(chuàng)新模式，創(chuàng)造了一個適應產業(yè)國際化趨勢又具有中國特色的行之有效的科技創(chuàng)新機制；聚集和培養(yǎng)了一支世界一流的集成電路產業(yè)技術人才隊伍，極大地提高了企業(yè)的可持續(xù)創(chuàng)新能力�！� 上海市科委總工程師傅國慶表示，盡管我國集成電路制造技術實現(xiàn)了跨越發(fā)展，整個產業(yè)也發(fā)生了巨大的變化，但是必須清醒地認識到，我國的產業(yè)發(fā)展起點仍然偏低，與發(fā)達國家的差距仍舊較大。如今，我國集成電路產業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展已經站到了一個新的歷史起點上。“應該說，我們今天取得的進展只是邁出了"萬里長征第一步"，必須清醒地看到，我們馬上就會迎來一個艱苦的"爬坡"階段。”
關于今后的發(fā)展，傅國慶表示，面向2020年，專項將圍繞傳統(tǒng)產業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產業(yè)發(fā)展的需求組織攻關，推動創(chuàng)新成果的規(guī)�；瘧�，培育具有國際競爭力的產業(yè)集群，為創(chuàng)新驅動發(fā)展戰(zhàn)略的實施提供科技支撐。
葉甜春介紹說，專項已經在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進行了系統(tǒng)部署，預計到2018年將全面進入產業(yè)化�！笆濉边�將重點支持7－5納米工藝和三維存儲器等國際先進技術的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實現(xiàn)產業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。
